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設備類別
化學氣象沉積(500)
蝕刻(356)
-(15)
製造廠
應用材料(102)
東京電子(331)
山洋電氣(1)
Novellus(401)
Fujikin(24)
ARMOR CRYSTAL(2)
ENI(6)
DAIHEN(3)
安川電機(2)
對應廠牌
應用材料(1)
東京電子(142)
Novellus(2)
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晶圓尺寸
6"(1)
8"(9)
12"(26)
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NA
LEYBOLD PS113
東京電子
NA
CV gauge C2
東京電子
NA
YASKAWA SGM-02A312B
東京電子
NA
VEXTA PK268-01A
東京電子
NA
VEXTA PK268-01A
東京電子
NA
YASKAWA SGD-02ANY6
東京電子
NA
YASKAWA SRC-II 013
東京電子
NA
YASKAWA SRC-II 014
東京電子
1D81-000104
TYB411-1/TC
東京電子
1D81-000117
TYB413-1/INL
東京電子
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