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16-00110-00
Chamber Gas Distribution 284*284*56mm
Novellus
NA
Mother Board/PCM-9562N-S6A1E
Novellus
16-034962-00
SHAFT INNER INDEX ROBOT
Novellus
60-180954-00
Swagelok Valve 6LVV-DPF111P-C含接管(三向單閥含管件)
Novellus
27-129142-00
MC3 RS485 Card (PCM-3618) old type
Novellus
15-00518-00
BSHG, ROTATION SEAL
Novellus
10-047697-00
Tube Assy, Gas Distribution
Novellus
NA
3/8"FVCR EP調壓閥
Novellus
61-362273-00
Filter,Heater Isolation Board,Cool Trace
Novellus
03-034719-00
DLCM-S Left load lock interface PCB
Novellus
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