TEL Unity M 8555DDD
TEL Unity M 8555DDD
  • 產品編號ATCL-2130058
  • 產品序號 登入
  • 設備類別蝕刻
  • 製造廠東京電子
  • 晶圓尺寸8"
  • 所在地臺灣
詢價

Transfer Module

3 x DRM - 200mm chambers

AC rack - Turbo controller Seiko Seiki - ENI generators

SMC Chillers 2ea & controller

AC box

1) Mainframe + AC box

2) DRM chamber #1

3) DRM chamber #2 + DRM chamber #3

4) RF rack with ENI Generators / Seiko Seiki turbo controllers

5) Cables / water lines, ETC