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NVLS RF INTERFACE,SSD, SPEED ASSY
產品編號 : 03-033713-00
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Pressure Controller, He-300sccm,0-20Torr
產品編號 : 22-045874-00
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Valve 4in VAT Gate(14040-PE44-X)
產品編號 : 60-10015-00
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Swith Vacuum 600Torr E36W-H50
產品編號 : 60-034022-00
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6LVV-DPC232-P-C
產品編號 : 22-10529-00
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Pin Lift Assy, Pedestal 2 and 3 (Altus)
產品編號 : 02-047200-02
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Plug,ESC,W/Sapphire Rod
產品編號 : 15-100700-00
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SMC 8"L-motion Slit Valve (Chamber)
產品編號 : 60-254066-00
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Cap,2200pF 8000 WVDC, Mica,5%,ST(29280B222J00，13A)Capacitor
產品編號 : 29-121071-00
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Cap,CDM,0027 mFD,Type 292-0(29280B272J00,15A)Capacitor
產品編號 : 29-053216-00
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