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光阻去除(2)
化學氣象沉積(500)
蝕刻(444)
物理氣象沉積(1)
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6"(1)
8"(10)
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27-123457-00
SMIF POWER SUPPLY ,24VDC,14A 300W
Novellus
03-260588-00
DC Distribution PCB,C3 Vector F47 Assy
Novellus
27-253688-00
PC10422-CXS 20022 PC/104 COAXIAL STAR NIM
Novellus
NA
Mother Board/PCM-9562N-S6A1E
Novellus
27-129149-00
Diamond-MM 16-channel 12-bit A/D + 12-bit D/A, extended
Novellus
27-288763-00
Emerald-MM 8-channel RS-232/422/485 extended temp
Novellus
02-056729-00
PCA-6154PENTIVM586
Novellus
04-10075-00
RF Interface Board
Novellus
NA
MDC(KAV-150-P-10 ) Chamber Roughing valve(Model:311074-10)
Novellus
NA
Mix bowl Gasline
Novellus
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