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化學氣象沉積(460)
蝕刻(356)
-(15)
製造廠
應用材料(102)
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NA
Brooks 5866RT HE 300 SCCM
Novellus
60-251709-00
MKS 626D-33506 Range 0.1 Torr
Novellus
60-251709-01
MKS Baratron Pressure Gauge 0.1 Torr(626B-30322)
Novellus
15-109921-00
PEC (COVER,ESC,200MM SEMI,ALN)
Novellus
NA
SEC-Z522MGXNC-MRMG-#07-SUC-4CRL H2 20SLM
Novellus
NA
SEC-Z522MGXNC-MRMG-#07-SUC-4CRL Ar 20SLM
Novellus
16-10070-00
Manifold, Backside
Novellus
NA
Altus station O.X.Y線性滑軌
Novellus
16-034611-00
Diffuser sintered clean cmillipore
Novellus
15-00835-00
Plalform lift pin 100/200mm
Novellus
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