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3/8"FVCR EP調壓閥
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61-362273-00
Filter,Heater Isolation Board,Cool Trace
Novellus
03-034719-00
DLCM-S Left load lock interface PCB
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03-033713-00
NVLS RF INTERFACE,SSD, SPEED ASSY
Novellus
22-045874-00
Pressure Controller, He-300sccm,0-20Torr
Novellus
60-10015-00
Valve 4in VAT Gate(14040-PE44-X)
Novellus
60-034022-00
Swith Vacuum 600Torr E36W-H50
Novellus
22-10529-00
6LVV-DPC232-P-C
Novellus
02-047200-02
Pin Lift Assy, Pedestal 2 and 3 (Altus)
Novellus
15-100700-00
Plug,ESC,W/Sapphire Rod
Novellus
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